半導體行業中使用的清（qīng）洗劑、顯影劑、光刻膠、蝕刻液等溶劑中含有大量有機物成分，在工藝過程中，這些（xiē）有機溶劑大部分通過揮發成為廢氣排放。其（qí）廢氣的主體是VOCs，同時（shí）廢氣（qì）中還混合了HCl、氨、HF等（děng）危險汙染物，分離（lí）和（hé）處（chù）理難度比較大。下麵（miàn）為您介紹半導體廢氣處理方法：

半導體（tǐ）酸廢氣處理方法

半導體酸廢氣處理通常采用（yòng）堿液體噴淋法，又稱化學洗滌法（fǎ）。因液體自身具有的溶（róng）解特性，可以更好地捕捉沉降，溶解（jiě）去除汙染物，而達到大氣排放標準，故噴淋法是半導體行業酸堿廢氣治理（lǐ）普遍采用的主要處理方法。

新材料行業半（bàn）導體廢氣處理的（de）方法

新材料行業與傳統材（cái）料相比，新材料產（chǎn）業（yè）具有（yǒu）技術高度密集（jí），研究與開發投入高（gāo），產品的附加值高，生產（chǎn）與市場的國際性強，以及應用範圍（wéi）廣，發展前景好等特點，其研發水平及產業化規模已成為衡量一（yī）個國家經濟，社會發展（zhǎn），科技進步和國防實力的重（chóng）要標誌，世界各國特別（bié）是（shì）發達國家（jiā）都十分重視新材料產業的發展。

作為新材料產業的代表之一，半（bàn）導體工藝對操作（zuò）室（shì）清潔度要求極高，通常使用風（fēng）機抽（chōu）取工藝過程（chéng）中揮發的（de）各類廢氣，因此（cǐ）半導體行業廢氣排放具有排氣量大（dà）、排放濃（nóng）度（dù）小的特點。這些廢氣排放主要可以分為四類：酸性氣（qì）體、堿性氣體、有機廢氣和有（yǒu）毒氣體。

半導體行（háng）業廢氣處理方法

半導體行業有機廢氣處理方（fāng）法，通常先用沸石（shí）轉輪對VOCs進行吸（xī）附濃縮之後，再用直接燃燒法進行銷毀，廢氣淨化率達到97%以上。

直接燃燒又稱為直接火焰燃燒，它是把VOCs可（kě）燃組分直接燒掉，因此該方法適（shì）用於淨化可燃有害組分濃度較高的廢氣，或（huò）者淨化有（yǒu）害（hài）組（zǔ）分燃燒（shāo）時（shí）熱值較高的廢氣；多種可燃氣體或多（duō）種溶劑蒸氣混合（hé）在廢氣中，隻要濃度值適宜，也可以（yǐ）直接燃燒。如果可燃組分的濃度高於燃燒上限，可以混入空氣後燃燒；如果可燃組（zǔ）分（fèn）的濃度低（dī）於燃（rán）燒下限（xiàn），則可以（yǐ）加入一定數量的輔助（zhù）燃（rán）料如天（tiān）然氣等，維（wéi）持燃燒（shāo）。

電（diàn）子半導體行業廢氣處理適合產品

沸石轉輪VOCs廢氣處理(治理)一體機

產品概（gài）述

沸石轉筒濃縮+CO催化燃燒廢氣（qì）處理（lǐ）一（yī）體化裝置是我公司開發的新型（xíng）廢氣處（chù）理裝置，引（yǐn）進核心部件，結合我公司多年來（lái）積累的廢氣治理經驗，共同推廣的高效節（jiē）能，無二次汙染的新型係列產品，該產品運（yùn）行穩定，安全，綜合運（yùn）行成本低，為環保治理項目增加了新的選項。

運作原理

廢氣通過濃縮轉輪吸（xī）附區將 (VOC)吸附，達到淨化效果（guǒ）。被吸附 (VOC)在脫附區通過少（shǎo）量熱風進行脫（tuō）附。由此達到濃縮效果。

吸附過程：吸附床分16個扇區，裏麵（miàn）填充顆粒態分子篩，當廢氣（qì）穿過吸附床層時，VOC分子被截留下來，達到淨（jìng）化的目的。

脫附過程：當介質吸附一定量的VOC後，在穿透濃度的安全閾值之前進行脫附。引入（rù）熱空氣（180-220℃），通過升溫和變壓兩種方式進行解析再生。 脫附（fù）下來的高濃度廢氣引（yǐn）入（rù）燃燒爐中進行（háng）徹底（dǐ）分解（jiě）。

冷（lěng）卻過程：介質（zhì）降到常溫恢複吸附性能，可以專門進行冷空氣冷卻，也可以用廢氣直接冷卻，根據應用場合選定。

工藝（yì）特點

筒式轉（zhuǎn）輪適合大風量（liàng）+低濃度廢氣

01、間歇作業，非連續（xù）性生產，波動大；

02、高沸點VOC，DMF、鄰二甲（jiǎ）苯等；

03、小分子VOC、甲醇、CS2、糠醛等；

04、濕度大工況，相對濕度大（dà）；

顆粒態（tài）轉筒（tǒng）一個重要特點可以根據氣體（tǐ）成（chéng）分靈活定製吸附介質，以應對一些比（bǐ）較難處理的VOC項目，如糠醛、甲醇、CS2等行業的廢氣。

疏水（shuǐ）矽沸石吸附劑呈現強烈的疏水（shuǐ）/親油特性、具有尺寸均勻的孔道、較（jiào）大的比表麵積（500~1000㎡/g）和較大的吸附容量，可（kě）用於從廢氣中（zhōng）吸附去除許多有機物分子，是一種新型的環保材料（liào）。脫附溫度180-2200C。

在分子篩轉輪（lún）上易發生聚合反應的烯烴類物質、有機（jī）矽氧烷、沸點超高260℃以上的大分子物質等，可能會對轉輪造成（chéng）永久性（xìng）損壞。現列出轉輪無法（fǎ）處理（lǐ）的物質（zhì）成分、不允許（xǔ）進入轉輪的物質和限製進（jìn）入轉輪的物質，列表如下：

表 不允許進入（rù）轉輪的物質

表 限製進入轉輪的物質

基材及沸石晶體（tǐ）結構的破壞是不（bú）可逆，聚（jù）合物導致通氣道堵塞基材及沸石晶體結構的破壞是不 可逆，聚合物導致通氣道堵塞可逆的。高沸點物質殘留（liú）導（dǎo）致的石通氣道堵塞是可逆，特定離線（xiàn）活化工藝（yì）可恢複原始（shǐ）性能的80-90%。我們再按（àn）照這個標（biāo）準再劃分總結，如（rú）下：

應用（yòng）行業

1.各種噴漆車間(汽車製造，五金家具、造船、自行車製造，金屬製品等);

2.各種印刷車間(凹（āo）版印劇，建築裝潢材（cái）料（liào）印刷，包裝印刷等);

3.各種合成樹脂，橡膠（jiāo）製品，半導（dǎo）體，鋁型（xíng）材（cái），鍍膜（mó）等。

適用條件:低濃度，大風量（liàng），溫度

產品的（de）優勢

1、吸附性能強；

2、運行成本低；

3、使用壽（shòu）命長；

4、維護成本低；

5、吸附、脫附連續運營；

6、脫附達到能循環狀態 節約（yuē）能耗。