半導體行業廢氣（qì）處理，按照（zhào）其廢氣處理工藝分為：酸性廢（fèi）氣處理（SEX）、堿性廢氣處理(AEX)、有機廢氣處理(VEX)和一（yī）般排氣(GEX)等；其（qí）廢氣處理係統包括：酸性廢氣處理設備、堿性廢氣處理設備、有機廢氣處（chù）理（lǐ）設備等；酸、堿廢氣處理設備有：洗滌塔，又名噴淋塔、吸收塔；有機廢氣處（chù）理設備（bèi）有（yǒu）：活性炭吸附裝（zhuāng）置、直（zhí）燃式熱氧（yǎng）化廢氣焚燒爐（TO）等。
係統運行穩定，自動化程序高，可遠程智能監控，在線監測監控達標排（pái）放。
對工況要求低，廢氣中可以含有（yǒu）多種有機成分，處理風（fēng）量（liàng）範圍大：1,000~300,000Nm³/h；
全自動（dòng）控製，操作簡單（dān）；操作費用低；節省人（rén）力物力；減少各種意外因素（sù）；提升安全性；
當 VOC 濃度達到 400ppm 時，不（bú）需要額外的燃料消耗。
兩床式 RTO 淨化率在 95% 以（yǐ）上，三床式 RTO 淨化率在 98% 以上；
淨化原理: 有機廢氣（qì）通過活性炭/沸石吸附飽和後，采用熱空氣進行脫附再生（shēng），脫（tuō）附後的高濃度廢氣經催化燃燒排空。催化（huà）燃燒利用熱空氣或熱氮氣來脫附產生的高濃度廢氣，有機廢氣在貴金屬催（cuī）化劑的（de）作用下於250~400℃之間催化氧化為CO2和H2O，並釋放大量的熱量，通過熱交換器對熱量進行再利用。
本技術（shù）是沸石轉輪吸附同蓄熱式（shì）焚燒技術的組合工藝，淨化係統主要由三級幹式過濾（lǜ）裝置、沸（fèi）石轉輪濃縮吸附裝置、RT0、風機、換熱器、PLC自動化控製係統組成。該組合技術通過沸石轉輪（lún）的吸附濃（nóng）縮使大風量、低濃度有機廢氣濃縮為小風量、高（gāo）濃度濃縮氣體，高濃（nóng）度濃縮氣再（zài）經RTO高溫燃燒分解為(CO2和H2O等無機成分。
淨化（huà）原理: 有機廢氣通過活性炭/沸石吸（xī）附飽和後，采用（yòng）熱空（kōng）氣進行脫附再生，脫附後的（de）高濃度廢氣經（jīng）催化燃燒排空。催化燃燒利（lì）用熱空氣或熱氮氣來脫附產生的高濃度廢氣，有機廢氣在貴金屬催化劑的作用下於250~400℃之間催化氧化為CO2和H2O，並釋（shì）放大量的熱量，通過熱交換器對熱量進行再利用。
本技術是沸石轉輪吸附同蓄熱式焚燒技術（shù）的（de）組合工藝，淨化係統主要由三（sān）級幹式過濾（lǜ）裝置、沸石轉輪（lún）濃縮吸附裝置、RT0、風機、換熱器、PLC自（zì）動化控製係統組成。該（gāi）組合（hé）技術通過（guò）沸石轉輪的吸附濃縮使大風量、低濃度有機廢氣濃縮為小風量、高濃度濃縮（suō）氣體，高濃度濃縮氣再經RTO高溫燃燒（shāo）分解為(CO2和H2O等無機成分。
